Back Spin coating Catalan Spin coating English پوشش دورانی Persian Enduction centrifuge French Rivestimento per rotazione Italian スピンコート Japanese Spincoating Dutch Spin-coater Polish Rotačné nanášanie Slovak 旋转涂覆 Chinese
Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating, auch spin-on) ist in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik ein Verfahren zum Auftragen dünner und gleichmäßiger Schichten bzw. Filme auf einem Substrat. Zum Aufschleudern eignen sich alle in Lösung vorliegenden Materialien, wie z. B. der bei der Fotolithografie verwendete Fotolack (engl.: resist).