Wolfram(VI)-fluorid

Strukturformel
Allgemeines
Name	Wolfram(VI)-fluorid
Andere Namen	Wolframhexafluorid
Summenformel	WF6
Kurzbeschreibung	nicht brennbares Gas[1] mit stechendem Geruch unterhalb 17 °C: blassgelbe Flüssigkeit[1] unterhalb von 2 °C: weiße Kristalle[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 7783-82-6 EG-Nummer 232-029-1 ECHA-InfoCard 100.029.117 PubChem 522684 Wikidata Q418962
Eigenschaften
Molare Masse	297,84 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	Gas: 12,4 kg·m−3[1] fest: 4,56 g·cm−3 (−9 °C)[2]
Schmelzpunkt	2,3 °C[1]
Siedepunkt	17,1 °C[1]
Dampfdruck	113,2 kPa (20 °C)[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung[1] Gefahr H- und P-Sätze H: 330​‐​314​‐​280 EUH: 071 P: 260​‐​280​‐​304+340​‐​303+361+353​‐​305+351+338​‐​315​‐​405​‐​403[1]
MAK	1 mg·m−3[1]
Thermodynamische Eigenschaften
ΔHf0	411,7 ± 0,5 kcal·mol−1[3]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Wolfram(VI)-fluorid (WF₆), häufig auch Wolframhexafluorid, ist eine farblose, gasförmige Verbindung der Elemente Wolfram und Fluor und gehört zur Stoffgruppe der Hexafluoride. Es ist das dichteste bekannte Gas unter Standardbedingungen. An feuchter Luft raucht es aufgrund von Hydrolyse und besitzt einen stechenden Geruch. Es wird am häufigsten bei der Herstellung von Halbleiterschaltungen und Leiterplatten im Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung verwendet; bei seiner Zersetzung verbleibt ein Rückstand von metallischem Wolfram.

1. ↑ ^{a b c d e f g h i j} Referenzfehler: Ungültiges <ref>-Tag; kein Text angegeben für Einzelnachweis mit dem Namen GESTIS.
2. ↑ Referenzfehler: Ungültiges <ref>-Tag; kein Text angegeben für Einzelnachweis mit dem Namen SIEGEL_NORTHROP.
3. ↑ Johann Schröder, Franz Josef Sieben: "Bildungsenthalpie von Wolframhexafluorid und Wolframpentafluorid", in: Chemische Berichte, 1969, 103 (1), S. 76–81; doi:10.1002/cber.19701030113.