Maskenprogrammierung

Die Maskenprogrammierung bezeichnet das Erzeugen des vom Anwender gewünschten Dateninhalts eines Festwertspeichers (ROM) mittels einer oder mehrerer Masken durch den Halbleiterhersteller. Je nach Aufbau der Speicherzelle eines ROMs erfolgt die Programmierung entweder über die letzte Verdrahtungsmaske (Metallisierung), über Masken zum Einstellen der Dicke des Gateoxids oder über Ionenimplantation.