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Der Begriff Meta Object Facility (MOF) wurde von der Object Management Group (OMG) eingeführt und beschreibt eine spezielle Metadaten-Architektur. Kernbestandteil ist ein Meta-Meta-Modell. Des Weiteren enthalten die MOF-Spezifikation und assoziierte Standards Wege zur Modellverarbeitung, gewissermaßen einen Werkzeugkasten. Vor allem zu nennen ist das XMI-Format (XML Metadata Interchange) für den Austausch von Metadaten.
MOF überbrückt die Lücke zwischen unterschiedlichen Metamodellen, indem eine allgemeine Grundlage für Metamodelle geschaffen wird. Wenn zwei verschiedene Metamodelle MOF-konform sind, dann können Modelle, die auf ihnen basieren, im gleichen Modelldepot (Repository) ansässig sein. Dies erlaubt dann auch die gemeinsame Verarbeitung, etwa durch Modelltransformation.