La microarchitecture (ou architecture interne) d'un processeur est un plan de ce processeur au niveau logique et décrit la façon dont l'architecture du jeu d'instructions (ISA) est implémentée sur ce processeur. Elle décrit, notamment :
Elle est également parfois appelée architecture, bien que ce terme ait plusieurs sens en informatique.
Suivant les sources, elle spécifie[1] ou non[2] la technique de gravure utilisée pour créer le processeur. Elle est suffisamment précise pour permettre de comprendre le fonctionnement du processeur, mais suffisamment peu détaillée pour permettre de réaliser des processeurs différents (par la taille de leur mémoire cache, par leur fréquence d'horloge, etc.) en suivant son modèle.[réf. nécessaire]