Kanalne zrake ili anodne zrake su snop ili struja pozitivno nabijenih čestica koje nastaju u izbojnim elektronskim cijevima u razrijeđenim plinovima pri vrlo niskome tlaku (manje od 1 Pa). Kanalne zrake prolaze kroz otvor (kanal) u katodi i u prostoru iza nje svojstveno svjetlucaju. Ime im je dao otkrivač, njemački fizičar Eugen Goldstein, koji je s njima obavljao pokuse oko 1886., a njihova svojstva istraživali su još W. Crookes i P. Lenard, a posebice J. J. Thomson. Mjerenjem omjera njihova električnog naboja i mase električnim i magnetskim poljima utvrđeno je da su kanalne zrake pozitivno nabijeni ioni plina koji se nalaze u izbojnim cijevima. Kanalne zrake imaju danas važnu ulogu u mikrotehnici i nanotehnici ubacivanja (implantacije) slojeva pozitivno nabijenih iona, odnosno atoma u fizici i tehnologiji poluvodiča i njihovih heterostruktura.[1]