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Siegfried Selberherr (Klosterneuburg, 3 agosto 1955) è un ingegnere microelettronico e ricercatore austriaco, professore all'Istituto per la Microelettronica dell'Università Tecnica di Vienna.
Il suo primario interesse di ricerca è la modellazione e la simulazione di fenomeni fisici inerenti alla microelettronica.