Microscopie

Zie Materiaalkarakterisering voor het hoofdartikel over dit onderwerp.

Microscopie, oppervlakteanalyse of oppervlaktekarakterisering is een categorie binnen de materiaalkarakterisering, die de oppervlakte- of grenslaagstructuur van een materiaal onderzoeken en in kaart brengen. Meestal wordt niet alleen informatie verkregen over de buitenste atoomlaag, maar ook over meer naar binnen gelegen lagen, en gaat het om vaste materialen. Oppervlakteanalyse wordt voornamelijk gebruikt bij het onderzoek naar coatings, thin films en microstructuren. Deze manier van materiaalkarakterisering wordt veel toegepast binnen het vakgebied der materiaalkunde, maar ook binnen delen van de vastestoffysica en analytische chemie.

Bij een aantal methoden wordt slechts een zeer klein oppervlak geanalyseerd (lokaalanalyse). Door aftasten met een sonde (Engels: probe) wordt dan een beeld van het gehele substraat verkregen. Voor de analyse wordt gebruik gemaakt van fenomenen als reflectie, diffractie, refractie en elektromagnetische straling. De analyse verloopt door excitatie van het substraat met behulp van fotonen, elektronen, ionen of aanleggen van een elektrisch veld, waarna de respons in de vorm van emissie van fotonen, elektronen, ionen of neutrale deeltjes wordt geanalyseerd via spectroscopische analysemethoden. Hierbij kan het zijn dat het deeltje of de golf van de inkomende straal (excitatie) verschilt van de uitkomende straal (emissie).

De structuurinformatie van de uitkomende straal kan in kaart worden gebracht door een afbeelding, patroon of diagram te genereren.