Pompa dyfuzyjna – rodzaj pompy próżniowej, w której strumień czynnika pompującego (specjalnego oleju lub rtęci) wskutek m.in. zjawiska dyfuzji porywa ze sobą cząsteczki gazu przenosząc je z obszaru próżni wysokiej (z obszaru pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.